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    壓電直線納米位移臺ML-15A

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    壓電直線納米位移臺ML-15A

    • 所屬分類:壓電直線納米位移臺

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    • 發布日期:2021/01/21
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    尺寸參數
    外形尺寸(長*寬*高)33.4*20*12.8mm
    臺面平面度10 μm
    總重量30g
    材料
    機身鋁合金/
    驅動PZT壓電陶瓷/
    驅動機構鈹青銅/
    導線屏蔽線,銅線/
    粗調模式
    運動范圍±7.5mm
    運動步進50~2000nm
    速度上限3mm/s
    細調模式
    細調步進0.05nm
    細調范圍3000nm
    閉環運動
    重復定位精度20nm
    分辨率2nm
    負載
    垂直運動方向負載20N
    沿運動方向負載4N
    操作環境
    操作溫度-20~80
    是否適用真空/
    其它
    控制類型開環/閉環/
    運動分辨率0.05nm
    驅動電壓上限125V


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