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地址：遼寧省鞍山市高新區千山中路368號
聯系人：13704223110（王經理）
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ML-37A 產品擁有
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尺寸參數 | ||
外形尺寸（長*寬*高） | 53.4*20.0*12.8 | mm |
臺面平面度 | 10 | μm |
總重量 | 55 | g |
材料 | ||
機身 | 鋁合金 | / |
驅動 | PZT壓電陶瓷 | / |
驅動機構 | 鈹青銅 | / |
導線 | 屏蔽線，銅線 | / |
粗調模式 | ||
運動范圍 | ±18.5 | mm |
運動步進 | 50~2000 | nm |
速度上限 | 3 | mm/s |
細調模式 | ||
細調步進 | 0.05 | nm |
細調范圍 | 3000 | nm |
閉環運動 | ||
重復定位精度 | 20 | nm |
分辨率 | 2 | nm |
負載 | ||
垂直運動方向負載 | 20 | N |
沿運動方向負載 | 4 | N |
操作環境 | ||
操作溫度 | -20~80 | ℃ |
是否適用真空 | 是 | / |
其它 | ||
控制類型 | 開環/閉環 | / |
運動分辨率 | 0.05 | nm |
驅動電壓上限 | 125 | V |
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