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壓電二維納米位移臺，XYMF-133-100A平移臺實現了在XY二維空間上的準確定位，具有分辨率高，行程大（XY軸行程±50mm），帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡單，定位準確，能在真空下使用等優點，可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。
壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅動，運動無需潤滑，百分百真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到亞納米級。步進和掃描雙模式工作，并且在宏觀行程范圍內同樣達到亞納米分辨率的定位。支持開環閉環控制。
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| 尺寸參數 | ||
| 外形尺寸（長*寬*高） | 133.0*133.0*26.1 | mm |
| 臺面平面度 | 10 | μm |
| 總重量 | 653.8 | g |
| 運動參數 | ||
| X軸 | ±50 | mm |
| Y軸 | ±50 | mm |
| 運動速度上限 | 3 | mm/s |
| 材料 | ||
| 機身 | 鋁合金 | / |
| 驅動 | PZT壓電陶瓷 | / |
| 驅動機構 | 鈹青銅 | / |
| 導線 | 屏蔽線，銅線 | / |
| 運動控制 | ||
| 閉環重復定位精度（20℃） | 2 | nm |
| 閉環位置傳感器分辨率 | 2 | nm |
| 開環運動分辨率 | 0.05 | nm |
| 負載 | ||
| 垂直運動方向負載 | 20 | N |
| 沿運動方向負載 | 4 | N |
| 操作環境 | ||
| 操作溫度 | 0~60 | ℃ |
| 操作濕度 | 溫度達到40℃時，相對濕度95%。（非冷凝） | / |
| 是否適用真空 | 是 | |
| 其它 | ||
| 控制類型 | 開環/閉環 | / |
| 驅動電壓上限 | 125 | V |
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