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電動平移臺平面度（Surface Flatness）：
光學平臺的平面度，通常是指單位面積內，被測實際表面相對其理想平面的變動量。通常國外光學平臺的平面度指標為：±0.1mm/600mm×600mm，通過精密磨削工藝，將平面度指標提高到0.02 ～0.05mm/600mm×600mm。
但嚴格意義上來說，光學平臺平面度，對于隔振性能，沒有任何影響，甚至若為了追求高平面度，往往會犧牲掉光學平臺的隔振性能，原因如下：
● 我們知道，光學平臺臺面，若為達到高平面度，通常需要反復磨削，在加工過程中，多次磨削容易使材料產生形變，為了減少形變，通常要加厚臺面，但我們通過振動恢復時間的說明已經知道，臺面加厚質量增加，平臺的振動恢復時間往往成倍（甚至幾倍）增加，在很多精密光學實驗中，這是不可接受的；
● 光學平臺的磨削是有極限的，這個加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右，換算成平方米大約為：±0.03mm/m2，但這個平面度，同大理石平臺的平面度相差甚遠。大理石平臺根據平面度指標一般分為：000級（平面度≤3μm/m2）、00級（平面度≤5μm/m2）、0級（平面度≤10μm/m2）。換句話說，平面度Z好的光學平臺，同Z低等級的大理石平臺相比，平面度還差數倍甚至一個數量級，所以若您需要高平面度的臺面，強烈建議您選購大理石平臺；
● 光學平臺的平面度在使用時，實際意義不大。我們以絕對平整的臺面（實際上是不可能的）來看，若長×寬×厚為：2000×1000×200mm，通常調整水平時，水平儀的Z小刻度為±30′，若假設實際過程中，水平方向調整精度若為5′，長度方向取2000mm，那么，臺面長度方向兩端的高度差=2000×tan（5′）2.9mm，也就是說，就算絕對平整的臺面，調整水平后，臺面長度方向兩端的高度差很有可能達到3mm，所以實際使用情況中，平面度的指標意義不大；
● 對于平臺上的光學元件來說，平面度引起的高度差，通?？梢院雎圆挥?，若確有必要考慮高度差，則完全可以通過卓立精密調整的位移臺來實現。綜上所述，光學平臺的平面度，同光學平臺的隔振性能不相關，只能做為光學平臺的一個輔助指標，供參考。
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